产品介绍:

  本项目研制了我国首台极大规模集成电路用300mm 硅单晶炉并形成系列产品，打破了国外产品的垄断和技术封锁，整体性能达到国际先进水平，在非对称CUSP 磁场设计与装置、激光液位检测方法与装置等方面处于国际领先水平。
项目获授权发明专利13 件，美国发明专利2项，制定了我国首部单晶炉技术标准。核心技术和系列产品已在相关行业推广使用并出口美国、韩国等企业，新增产值24.64 亿元，新增利润4.65 亿元，取得了显著的社会、经济效益。